Oxigén-fluorsav CAS: 82419-35-0

Az oxigén-fluorsavat főként fluoridok, oxifluorozott vegyületek és más szerves fluorozott vegyületek előállítására használják. Erős oxidálószerként fluorozószerként használható szerves szintézisekben fluoratomok szerves molekulákba történő bevitelére. Ezenkívül korróziógátló szerként használják szilícium-lapkák tisztítására és maratására, ami fontos alkalmazási terület a félvezetőiparban. Laboratóriumban az oxifluorsav üvegedények tisztítására és felületi oxidok eltávolítására is használható. Magas korrózió- és toxicitási tényezője miatt azonban szigorúan be kell tartani a biztonságos üzemeltetési eljárásokat használat közben, és meg kell tenni a szükséges védőintézkedéseket a személyzet biztonságának garantálása érdekében.